來源：凈化家園、潔凈工程聯(lián)盟

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  在微電子用潔凈室、藥品生產用潔凈室中，常常在產品生產過程中使用或產生，各種酸性和堿性物質、有機溶劑和一般氣體、特種氣體；在致敏性藥物、某些甾體藥物、高活性、有毒性藥物生產過程還會有相應的有害物質排出或泄漏入潔凈室內，為此對于上述產品生產用潔凈室內可能排出各種有害物質、氣體或粉塵的生產工藝設備或工序設置局部排風裝置或全室排風裝置，按生產工藝過程排出的廢氣的類型可將排風裝置（系統(tǒng)）大體劃分為下列幾種類型。

  （1）一般排風系統(tǒng)

  這是指在生產輔助用室、生活用室，如值班室、衛(wèi)生間等排出的一般廢氣，大多數情況下不需要進行特殊處理即可直接排入大氣。

  （2）有機氣體排風系統(tǒng)

  在產品生產中使用各類有機物質、溶劑作為原輔材料或清洗劑時，都將會在相關的場所或設備處散發(fā)有機物質、溶劑的氣體，對這類場所或設備均應設置排風裝置。在一般情況下，有機排風系統(tǒng)中的有機氣體濃度是很低的，若能達到國家標準規(guī)定的大氣排放標準時可直接排入大氣，不需設置廢氣處理裝置；當排風系統(tǒng)中有機氣體濃度超過規(guī)定時，應設有機氣體處理裝置，經過處理達標后才能排入大氣。有機排氣的凈化處理有活性炭吸附法、液體吸收法和催化燃燒法等，活性炭吸附注主要用于中小流量的不含粉塵、膠粘物質的苯類、汽油類有機排氣的處理；液體吸收法，設備簡單、耗能低，但吸收效率不高；催化燃燒法主要用于較高濃度的苯類、醇類、脂類、汽油等有機排氣的處理。有機氣體處理裝置應根據排風系統(tǒng)所含有機物質的品種、濃度情況選用相應的處理設備。

  （3）酸性氣體排風系統(tǒng)

  在產品生產中的濕法化學腐蝕、酸液清洗、實驗室內均有酸性氣體排出，在這類酸性氣體的排風系統(tǒng)通常設置溫式洗氣吸收塔，處理后排入大氣，圖5-56是幾種吸收式洗氣塔的形式。實際設計時應根據酸性氣體的類型、濃度選用合適的吸收液和吸收塔的形式 [20] 。

  （4）堿性氣體排風系統(tǒng)

  在排風系統(tǒng)氣體中含有堿性物質或在排氣中混入堿性化學試劑，與酸性氣體排風系統(tǒng)類似，通常采用濕式洗氣吸收塔處理后排入大氣。近年來，由于大氣排放標準越來越嚴格，需對含有堿性物質（或酸性物質）濃度較低的排氣也應進行凈化處理才能達到排放標準，為此可采用專用吸附劑對堿性排氣（或酸性排氣）進行處理達標后才能排入大氣，此種吸附劑一般為一次性的，使用后應進行集中處理，通常作為固體廢棄物由城市垃圾處理場集中處理。

  （5）熱氣體排風系統(tǒng)

  對生產過程中的各種爐子、高溫滅菌設備等均有熱氣排出，由于排氣溫度校高，有時可采用熱回收等方式進行處理，若排氣量較小或不便進行處理時，在采取必要的隔熱措施后直接排入大氣。

  （6）含粉塵的排風系統(tǒng)

  鑒于產品品種不同、生產工藝過程不同，排氣中的粉塵性質、濃度均各不同，應根據其排氣中的粉塵性質、濃度選用各類除塵裝置，一般采用布袋除塵器、帶過濾元件的過濾裝置 [21] ，圖5-57是一種帶過濾元件的過濾除塵器，

  此類裝置都可以采取取拍打反吹或更換過濾器元件的方式，使除塵裝置可較長期的使用。對于某些含塵濃度很高的排風系統(tǒng)根據工程具體情況有時尚需設置二級除塵裝置將大部分粉塵去除后再送入前述的布袋或過濾除塵裝置，這樣做才能滿足大氣排放標準的要求，從而穩(wěn)定、經濟地運行。

  （7）特殊氣體排氣系統(tǒng)

  在半導體集成電路生產中常常需使用一些特殊氣體，其中許多特殊氣體均屬于易燃易爆或有毒甚至劇毒或有腐蝕性的氣體，對于這類排氣系統(tǒng)首先應按特氣的品種、性質劃分排氣系統(tǒng)，必須防止在排氣系統(tǒng)中產生化學反應；其次應選用專用的廢棄處理裝置，特氣排氣的處理設備由稀釋法、吸收法、吸附法、催化燃燒法等；再者是排氣系統(tǒng)的設備、管道的材料選用必須根據排氣中的特氣性質選擇相適應的額的材質，并不得與排放的特氣發(fā)生反應。

  圖5-58是一種特氣處理設備，首先在催化反應段中，將有害成分催化反應（燃燒）后，再送入吸附段吸附去除各類催化反應生成物，達到排放標準后排入大氣。吸附劑按設計要求定期再生、活化恢復吸附能力。

  （8）藥品生產中有害、有毒的排風系統(tǒng)

  在生產或分裝青霉素等強致敏性藥物、某些甾體藥物以及高活性、有毒藥物的房間、二類危險度以上病原體操作區(qū)的排風口，應安裝高效過濾器，使這些藥物引起的污染危險降低至最低限度。并且此類排風系統(tǒng)的排入大氣的排風口與其他藥品生產用凈化空調系統(tǒng)的新風進風口應相隔一定距離。