一般來說,電子廠房的溫度應控制在22℃左右,相對濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關溫濕度規(guī)定)。這時可有效地消除靜電,并使人也感覺舒適。芯片生產車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分,由于電子產品在制造、生產過程中對室內空氣環(huán)境和品質的要求極為嚴格,主要以控制微粒和浮塵為主要對象,同時還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規(guī)定。
電子制造廠萬級無塵車間內的噪聲級(空態(tài)):不應大于65dB(A)
電子制造廠無塵車間垂直流無塵車間滿布比不應小于60%,水平單向流無塵車間不應小于40%,否則就是局部單向流了。
電子制造廠無塵車間與室外的靜壓差不應小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應小于5Pa
電子制造行業(yè)萬級無塵車間內的新鮮空氣量應取下列二項中的大值:
補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。
保證供給無塵車間內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。
電子制造行業(yè)無塵車間凈化空調系統(tǒng)加熱器,應設置新風,超溫斷電保護,若采用點加濕時應設置無水保護,寒冷地區(qū),新風系統(tǒng)應設置防凍保護措施。無塵室的送風量,應取下面三項大值:
保證電子制造廠無塵室空氣潔凈度等級的送風量:
根據(jù)熱,濕負荷計算確定電子廠無塵車間的送風量:
向電子制造廠無塵車間內供給的新鮮空氣量:
電子無塵車間參數(shù):
換氣次數(shù):100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。
壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa
平均風速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度冬季>16℃;夏季<26℃;波動±2℃。
溫度45-65%;高標準粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產生靜電。
噪聲≤65dB(A);新風補充量是總送風量的10%-30%;照度300LX。