凈化工程主要有:凈化車間、無塵室、無塵車間、潔凈室、凈化間、無菌室、醫(yī)院手術(shù)室、凈化裝修工程;從事生產(chǎn)風淋室、傳遞窗、自動洗手烘干機、風機濾網(wǎng)機組FFU、超凈工作臺、潔凈棚不銹鋼桌椅、貨架等,潔凈技術(shù)通常包括:空氣凈化技術(shù)、空調(diào)技術(shù)、水純化技術(shù)、氣體純化技術(shù)
凈化工程是指主要針對潔凈室,亦稱為無塵室或清凈室或無菌室的設(shè)計施工的工程。
凈化工程是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),凈化工程而所給予特別設(shè)計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。 凈化工程zui主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間的設(shè)計施工過程我們稱之為凈化工程。
凈化工程世界各國均有自定規(guī)格,但普遍還是用美國聯(lián)邦標準209為多,以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標準作介紹與相互比較。
凈化工程209E與209D等zui大之不同在于209E表示單位增加了公制單位,凈化工程等級以`M′字頭表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推,配合公制單位之標準化,M字母后之阿拉伯數(shù)目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數(shù)目字以10的冪次方表示,取指數(shù)為之,若微塵粒子數(shù)介于前后二者完全冪次方之間,則以1.5、2.5、3.5….表示。 美國聯(lián)邦標準FS 209D都以英制每立方英尺為單位,日本則是采用公制,即以每立方公尺為單位,以0.1μm微粒子為計數(shù)標準。日本標準之表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表示,凈化工程的等級為Class 1,凈化工程zui差則為Class 8,凈化工程以每立方公尺中微塵粒子總數(shù)中化為10的冪次方,取其指數(shù)而得。